반도체8대공정:식각1. 에칭 사용처, 에천트종류, STI, 용어 설명. 남이알려주면 쉬운 반도체 공정

3:30 STI 에 관하여 가 아닙니다!! 영상에 요류가 있어요. 이렇게 비율맞춰 파내고 Oxidation 시키는 방식을 Recessed LOCOS 라고 합니다. STI는 비율맞춰 파줄 필요 없이 에칭 후 약간의 Oxidation 이후 나머지 파낸 부분을 CVD로 Deposition 해서 채우는 방식입니다!! 중요한 점 지적해주신 하현욱 님 감사드립니다 사랑해요 : )
20:18 요약

STI의 에칭 비율은
https://www.youtube.com/watch?v=3wiRmXfHlrA&list=PLFvMmxdtlr7bx5760oUyKZjU6UJGwbxG3&index=4&t=1s
이 영상을 참고해주세요~