20강 반도체 공정(3) - 산화, 이온주입ㅣ특집 반도체개론 #클래스e #황철성 #김상범 #전동석 #박민혁

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#반도체 #AI반도체
산화 공정이란 실리콘 기판 위에 산화제, 산소, 열에너지를 공급하여 이산화규소 막을 형성하는 공정이다. 이온주입 공정은 도핑을 위해 실리콘의 상태를 변호시켜 주는 공정이다. 우수한 특성의 반도체 소자를 만드는 과정에서 결정적인 역할을 하는 산화 공정과 이온주입 공정에 대해 알아본다.

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